展示目的及科学原理
光刻机是目前芯片生产不可或缺的高精尖设备。该展品由光刻机造型展墙、LED大屏、触摸感应设备与触摸屏组成。LED屏幕常态演绎光刻机的主要构成和工作原理；同时可通过点击交互展示光刻机的技术难点。左侧触摸屏展示光刻机的重要性及光刻机中外最新资讯。
操作方式
（1）光刻机的主要构成、工作原理
（2）光刻机的重要性
（3）光刻机的技术难点
（4）中外光刻机最新资讯
光刻机（1ithÖgraphy）又名：掩模对准爆光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
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